油扩散泵的发展历程

历史1915年，德国物理学家W.盖得发表了他研究的扩散泵报告。

1916年，美国人I.朗缪尔制成泵壁带有冷却系统的冷凝泵。这些泵以汞蒸气为工作介质，并且可以*终获得10-5帕的真空。

1928年,英国人C.D.伯尔奇发现高沸点的石油衍生物。

1936年，C.D.希克曼等人制成人工合成油。这两种油在室温下的饱和蒸气压都非常低，从而取代了汞作为扩散泵的工作液。从此油扩散泵在高真空领域的工业生产和科学试验中就逐渐普遍使用，并打下了高真空技术的基础。

1960年代开始，油扩散泵又有了新的改变。

主要的改进是：

①泵的材料采用放气量微小的不锈钢。

②采用饱和蒸气压很低、热稳定性好的油如聚苯醚和硅油作泵的工作液。

③改变结构，新款的油扩散泵在泵的进气口法兰不变和不过分增大泵的外形尺寸条件下，在法兰下部突出地扩大泵腔的断面，其抽气速率可增大20～40％。如在此装设一个大直径扩散喷嘴和液氮冷却的大直径挡油帽等等。该泵可有通常泵（指没有扩大泵腔断面的泵）的抽气速率，并比较彻底地克服了泵的返油而获得低于10-8帕清洁超高空。

因此,油扩散泵在清洁超高真空的工业生产和科学试验中又取得重要的地位。